Produkty
Polovodičové vakuové pumpy

Polovodičové vakuové pumpy

Polovodičové vakuové pumpy, srdce výroby v čistých prostorách, jsou precizně-zkonstruovány tak, aby splňovaly mimořádně přísné požadavky na výrobu mikroelektroniky. Tato čerpadla jsou navržena tak, aby poskytovala dokonale čisté, stabilní vakuové prostředí bez vibrací-, které je naprosto zásadní pro procesy, kde i mikroskopická kontaminace může vést ke katastrofálnímu selhání produktu. produkt univerzálně využívá konstrukce bez-bezolejové a korozi{5}}odolné, často využívající specializované materiály, které odolají agresivním procesním plynům.

Popis produktů

 

Srdce výroby v čistých prostorách,Polovodičové vakuové pumpyjsou precizně{0}}navrženy tak, aby splňovaly mimořádně přísné požadavky na výrobu mikroelektroniky. Tato čerpadla jsou navržena tak, aby poskytovala dokonale čisté, stabilní vakuové prostředí bez vibrací-, které je naprosto zásadní pro procesy, kde i mikroskopická kontaminace může vést ke katastrofálnímu selhání produktu.produktuniverzálně používají konstrukce bez-bezolejové a korozi{1}}odolné, často využívající specializované materiály, které odolají agresivním procesním plynům. Dosahují potřebné vysoké úrovně vakua, obvykle až 0,001 Pascalu, s nastavitelnými průtoky a jsou navrženy tak, aby vykazovaly extrémně nízké vibrační profily, aby se zabránilo poškození jemných nanostruktur.

 

Jejich filozofie modulárního designu umožňuje přímou integraci do komplexních sad nástrojů a usnadňuje údržbu, což je zásadní pro minimalizaci nákladných prostojů nástrojů. Primární aplikacePolovodičové vakuové pumpyje, jak název napovídá, v polovodičovém průmyslu, kde se používají prakticky v každém kroku výroby čipů, od leptání a nanášení až po iontovou implantaci a litografii. Jsou také důležité v souvisejících oborech, jako je elektronické balení a výroba fotovoltaických článků. Kromě elektroniky se tato čerpadla používají ve strojích na výrobu pryže a plastů pro zpracování vysoce -čistých polovodičových- materiálů. V balení potravin pomáhají při vývoji specializovaných obalů pro citlivé elektronické součástky. V rámci vyhrazených vakuových nátěrových systémů,produktjsou nezbytné pro provádění procesů povlakování-polovodičové kvality, které vyžadují maximální čistotu a spolehlivost. Když úspěch vašeho procesu závisí na neposkvrněném a neochvějném vakuu,Polovodičové vakuové pumpyjsou definitivním a důvěryhodným řešením.

 

Základní parametry

typeNumber

DLT.LG180

DLT.LG360

DLT.LG630

DLT.LG800

DLT.LG1100

Rychlost čerpání, m3/h

143

354

625

780

994

Konečný tlak, Pa

2

2

1

1

1

Rychlost otáčení, r/min

2900

2900

2900

2900

2900

Hlučnost Lp, dB(A)

82

83

83

84

85

Maximální spotřeba vody, L/min

8

15

25

35

45

Průměr vtoku, mm

50

50

65

100

100

Průměr výfukového hrdla, mm

40

40

50

80

80

Výkon motoru, kW

4

7.5

15

18.5

22

Hmotnost hlavy čerpadla, kg

245

350

550

630

780

Populární Tagy: polovodičové vakuové pumpy, Čína výrobci polovodičových vakuových pump, dodavatelé, továrna

Odeslat dotaz