Popis produktů
Srdce výroby v čistých prostorách,Polovodičové vakuové pumpyjsou precizně{0}}navrženy tak, aby splňovaly mimořádně přísné požadavky na výrobu mikroelektroniky. Tato čerpadla jsou navržena tak, aby poskytovala dokonale čisté, stabilní vakuové prostředí bez vibrací-, které je naprosto zásadní pro procesy, kde i mikroskopická kontaminace může vést ke katastrofálnímu selhání produktu.produktuniverzálně používají konstrukce bez-bezolejové a korozi{1}}odolné, často využívající specializované materiály, které odolají agresivním procesním plynům. Dosahují potřebné vysoké úrovně vakua, obvykle až 0,001 Pascalu, s nastavitelnými průtoky a jsou navrženy tak, aby vykazovaly extrémně nízké vibrační profily, aby se zabránilo poškození jemných nanostruktur.
Jejich filozofie modulárního designu umožňuje přímou integraci do komplexních sad nástrojů a usnadňuje údržbu, což je zásadní pro minimalizaci nákladných prostojů nástrojů. Primární aplikacePolovodičové vakuové pumpyje, jak název napovídá, v polovodičovém průmyslu, kde se používají prakticky v každém kroku výroby čipů, od leptání a nanášení až po iontovou implantaci a litografii. Jsou také důležité v souvisejících oborech, jako je elektronické balení a výroba fotovoltaických článků. Kromě elektroniky se tato čerpadla používají ve strojích na výrobu pryže a plastů pro zpracování vysoce -čistých polovodičových- materiálů. V balení potravin pomáhají při vývoji specializovaných obalů pro citlivé elektronické součástky. V rámci vyhrazených vakuových nátěrových systémů,produktjsou nezbytné pro provádění procesů povlakování-polovodičové kvality, které vyžadují maximální čistotu a spolehlivost. Když úspěch vašeho procesu závisí na neposkvrněném a neochvějném vakuu,Polovodičové vakuové pumpyjsou definitivním a důvěryhodným řešením.
|
Základní parametry |
typeNumber |
||||
|
DLT.LG180 |
DLT.LG360 |
DLT.LG630 |
DLT.LG800 |
DLT.LG1100 |
|
|
Rychlost čerpání, m3/h |
143 |
354 |
625 |
780 |
994 |
|
Konečný tlak, Pa |
2 |
2 |
1 |
1 |
1 |
|
Rychlost otáčení, r/min |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
|
Hlučnost Lp, dB(A) |
82 |
83 |
83 |
84 |
85 |
|
Maximální spotřeba vody, L/min |
8 |
15 |
25 |
35 |
45 |
|
Průměr vtoku, mm |
50 |
50 |
65 |
100 |
100 |
|
Průměr výfukového hrdla, mm |
40 |
40 |
50 |
80 |
80 |
|
Výkon motoru, kW |
4 |
7.5 |
15 |
18.5 |
22 |
|
Hmotnost hlavy čerpadla, kg |
245 |
350 |
550 |
630 |
780 |
Populární Tagy: polovodičové vakuové pumpy, Čína výrobci polovodičových vakuových pump, dodavatelé, továrna
