Podtlaková vývěva funguje tak, že mechanicky nebo fyzikálně odebírá molekuly plynu z utěsněného prostoru a vytváří podtlakové prostředí pod atmosférickým tlakem v komoře vývěvy. Jeho základním principem je vysokorychlostní-rotace nebo vratný pohyb pohyblivých částí, jako jsou rotory, lopatky nebo víry, který nasává plyn vstupem, stlačuje jej a poté jej vypouští výstupem, čímž je dosaženo vakuového prostředí. Konkrétní proces lze rozdělit do následujících tří kroků:
Sací stupeň: Plyn vstupuje do komory čerpadla sacím otvorem (např. o průměru 40 mm). V tomto okamžiku se rotor nebo lopatky pohybují, čímž se zvětšuje objem komory a snižuje se vnitřní tlak.
Stupeň komprese: Jak se pohyblivé části dále otáčí (např. 1470 ot./min), plyn je stlačován na výstupní tlak (např. tlak vodní páry 32 mbar).
Výtlačný stupeň: Stlačený plyn je vypouštěn přes výtlačný ventil. Systém mazání olejem (např. olej typu UL19) zároveň zajišťuje utěsnění a odvod tepla (provozní teplota 12-40 stupňů).